Mikroelektroniikan puhdastila on erityinen tuotantoympäristö tuotteiden laadun ja tehokkuuden varmistamiseksi mikroelektroniikkateollisuudessa. Tässä projektissa otetaan huomioon monia tekijöitä, kuten ilmanpuhdistus, lämpötila, kosteus, sähköstaattinen ja melunhallinta ja niin edelleen.
Mikroelektroniikan puhdastilasovellusteollisuuden eri luokat:
1.Integroitujen piirien valmistus
- ISO 1 - 3: käytetään usein edistyneimmässä valoetsaus-, etsaus- ja muissa prosesseissa, jotka vaativat erittäin korkeaa pienhiukkasten hallintaa, ja pieni kontaminaatio voi johtaa siruvirheisiin.
- ISO 4 - 5: Soveltuu ohutkalvopinnoitukseen, ioni-istutuksiin ja muihin prosesseihin sirunvalmistuksessa, ja sillä on myös tiukat hiukkasten hallintavaatimukset.
2.Puolijohteiden kapselointitesti
- ISO 6 - 7: Se voi täyttää useimpien pakkaustestilinkkien vaatimukset, kuten sirupakkaus, toimintatesti jne.
3. Paneelinäytön valmistus
- ISO 5 - 6: Käytetään LCD-paneelien valmistuksen päällystämiseen ja valotukseen.
4. Elektroniikkakomponenttien valmistus
- ISO 7 - 8: käytetään suhteellisen alhaiset ympäristövaatimukset edellyttävien elektronisten komponenttien, kuten vastusten, kondensaattoreiden jne., tuotantoon.
Lyhyesti sanottuna, mitä korkeampi puhdastilan luokka on, sitä vähemmän ilmassa olevia suspendoituneita hiukkasia voidaan hallita, sitä puhtaampi ympäristö on ja sitä paremmin soveltuvat mikroelektroniikan tuotantoprosesseihin, jotka vaativat erittäin tiukkoja tuotantoympäristöjä. Alemman luokan puhdastila soveltuu kuitenkin suhteellisen löysää ympäristöä vaativiin tuotantoprosesseihin.
Mikroelektroniikan puhdastilan ilmanpuhdistusjärjestelmän päälaitteet:
1.Ilmansuodatin
- Ensisijainen tehosuodatin: käytetään pääasiassa suurempien hiukkasten, kuten pölyn, hiusten jne., suodattamiseen, jotta se on alustava rooli ilman puhdistamisessa.
- Keskitehoiset suodattimet: suodattavat keskikokoiset hiukkaspäästöt ja parantavat edelleen ilman puhtautta.
- HEPA-suodatin: tärkein laite korkean puhtauden saavuttamiseksi, sillä on korkea suodatusteho yli 0,3 mikronin hiukkasille
- Erittäin tehokas suodatin (ULPA-suodatin): 0.1 - 0.3 mikronin hiukkasille sen suodatusteho voi olla yli 99,999 % ja sitä käytetään usein paikoissa, joissa puhtausvaatimukset ovat erittäin korkeat.
2. Tuuletin
- Vastaa ilmavirran ohjaamisesta, saa ilman kulkemaan suodattimen läpi ja kiertämään puhdastilassa.
3. Kanava
- käytetään kuljettamaan suodatettua ilmaa, jotta ilma jakautuu tasaisesti kaikkiin puhdastilan alueisiin.
4. Raitisilmankäsittelykone
- tuoda raitista ilmaa ulos, suodattaa se ja säätää lämpötilaa ja kosteutta puhdastilan tarpeiden mukaan.
5. Ilmanpuhdistusyksikkö
-integroida erilaisia puhdistus- ja ilmastointitoimintoja, kuten suodatus, sterilointi, kosteudenpoisto, kostutus ja niin edelleen.
6. Staattinen painekammio
-vakauttaa ilmavirran, vähentää ilmavirran turbulenssia ja melua ja varmistaa tasaisen ilmavirran suodattimien läpi.
7. Äänenvaimennin
- Vähennä puhaltimien ja ilmavirran aiheuttamaa melua, mikä tarjoaa hiljaisen työympäristön
8. Paine-eroanturit ja ohjaimet
- Tarkkaile puhdastilan eri alueiden välistä paine-eroa varmistaaksesi, että ilma virtaa ennalta määrättyyn suuntaan epäpuhtauksien ristikontaminaation estämiseksi.
Nämä laitteet toimivat yhdessä varmistaakseen, että mikroelektroniikan puhdastilan ilmanlaatu saavuttaa vaaditun puhtausluokan.
Mikroelektroniikan puhdastilasuunnittelun tärkeimmät vaiheet ja tekniset kohdat:
1. Suunnittelusuunnittelu: tuotantoprosessin ja vaatimusten mukaisesti määritetään puhdastilaluokka, pinta-ala, layout jne. Samalla henkilöstön, materiaalien ja laitteiden virtausreitti sekä ilmanpuhdistuksen, ilmastoinnin suunnittelu ja valaistusjärjestelmiä tulee harkita.
2. Rakennusrakenne: sillä tulee olla hyvä tiivistys- ja lämmöneristyskyky ulkoisen ympäristön vaikutuksen vähentämiseksi sisätiloihin. Samanaikaisesti on käytettävä materiaaleja, jotka eivät ole helppoja muodostaa pölyä ja staattista sähköä, kuten ruostumaton teräs ja alumiiniseos.
3. Ilmanpuhdistusjärjestelmä: se on keskeinen osa mikroelektroniikan puhdastilasuunnittelua. Yleensä tehokkaita suodattimia, tuulettimia, ilmakanavia ja muita laitteita käytetään pölyn, bakteerien, virusten ja muiden epäpuhtauksien poistamiseen sisäilmasta, jotta ilma saavuttaa tietyn puhtaustason.
4. Ilmastointijärjestelmä: sen on pystyttävä hallitsemaan sisälämpötilaa, kosteutta ja paine-eroa tuotantoprosessin vaatimusten täyttämiseksi. Samaan aikaan energiaa säästäviä ja ympäristöystävällisiä ilmastointilaitteita ja -tekniikkaa tulisi ottaa käyttöön käyttökustannusten vähentämiseksi.
5. Sähköstaattinen ohjaus: mikroelektroniikan tuotantoprosessissa syntyy staattista sähköä, joka vaikuttaa tuotteen laatuun. Siksi on tarpeen ryhtyä staattisen sähkön poistamiseen, kuten staattisten erottimien käyttö, antistaattisten lattioiden asentaminen jne.
6. Melunhallinta: Melu vaikuttaisi työn tehokkuuteen ja henkilöstön terveyteen, joten meluntorjuntatoimenpiteitä on toteutettava, kuten äänieristysmateriaalien käyttö, äänenvaimentimien asennus jne.
7. Valaistusjärjestelmä: sen on kyettävä tarjoamaan riittävä kirkkaus ja tasaisuus tuotantoprosessin vaatimusten täyttämiseksi. Samalla tulisi ottaa käyttöön energiaa säästäviä ja ympäristöystävällisiä valaistuslaitteita ja -tekniikoita käyttökustannusten vähentämiseksi.
8. Henkilöstö- ja materiaalihallinto: Henkilöstön ja materiaalien sisääntuloa ja sieltä poistumista on hallittava ja valvottava tiukasti ulkoisten saasteiden pääsyn vähentämiseksi. Samalla henkilöstöä tulisi kouluttaa parantamaan puhtaustietoisuuttaan ja toimintataitojaan.
9. Testaus ja todentaminen: Puhdashuoneen rakentamisen jälkeen on suoritettava testi ja tarkastus sen varmistamiseksi, että puhdastilan suorituskyky täyttää suunnitteluvaatimukset, joihin kuuluvat ilman puhtaus, lämpötila, kosteus, paine-ero, staattinen sähkö jne.
Yhteenvetona voidaan todeta, että mikroelektroninen puhdastilatekniikka on monimutkainen järjestelmä, joka vaatii useita tekijöitä. Vain kehittynyttä teknologiaa ja laitteita ottamalla käyttöön voidaan rakentaa vaatimukset täyttävä puhdastila.
Suositut Tagit: mikroelektroniikan puhdastila, Kiina mikroelektroniikan puhdastilatoimittajat, valmistajat, tehdas
